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磁控濺射靶材透磁率測量解決方案

項目背景

  磁控濺射靶材主要應用于電子及信息產業,如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業。透磁率可以作為評估磁性靶材透磁性能的有效指標,其測試方法還沒有相應的行業標準,很大程度上制約了國內磁性濺射靶材的研發、制作及工業化生產。

解決方案

1、測試設備:CIM-3140RMT透磁率測量裝置 CIM-3140RMT透磁率測量裝置是一款樣品透磁測量設備,主要用于磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數測量,并對測試結果進行統計分析,可繪制PTF曲線圖、%PTF曲線圖。 具有文件管理、測試和數據(圖形)輸出等功能, 可滿足用戶對磁性濺射靶材的測試、數據(報告)輸出及數據管理等需求。





2、設備特點

  • ⑴、RMTest透磁測量系統為綠色軟件,無需繁瑣的安裝過程。
  • ⑵、測量軟件運行于Windows XP或 Win 7 操作系統下,符合Windows軟件規范,操作直觀簡捷。
  • ⑶、采用橫向探頭測量樣品表面的透磁。
  • ⑷、磁強計具備自動清零功能,能一鍵對表頭零點進行清零。
  • ⑸、可在軟件界面選擇磁場測試量程,無需通過手動按鍵切換量程檔位。
  • ⑹、測試結果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
  • ⑺、可導入多組數據進行多個半徑曲線對比。
  • ⑻、測試結果在PTF或%PTF坐標上可以通過雙擊波形調出單點捕捉功能,可以在軟件界面最下方顯示鼠標 當前選中位置點的相對角度和磁場強度值。
  • ⑼、儀器自帶水平儀。
  • ⑽、支持各種型號的噴墨或激光打印機,可直接打印測試報告。
  • ⑾、可直接通過E-mail發送彩色的測試報告。
  • ⑿、有數據庫功能,可將測試數據輸出到EXCEL中,便于對測試結果進行分析。
  • ⒀、可將測試報告轉換(保存)為圖片文件,以方便在論文中插圖。


 3、主要技術參數

項目

指標

系統控制

PC+6616PX 16位數據采集卡

X單軸行程

0-250mm,電動調節

Z單軸行程

0-200mm,手動調節

R旋轉軸

角度刻線間隔5度,旋轉速度1-6度/秒可調

測試時間

測試時間可調,最快60秒/圈

測量范圍

試樣外徑Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm

磁強計

量程

1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs

測量精度

滿量程達0.5%

測量參數

PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp

A/D數據采集

16Bits,旋轉分辨率:3600點/360º

測量結果重復度

小于0.5%

測量軟件

Windows 7運行環境,測量數據可以EXCEL形式保存在硬盤,可隨時查詢

測量報告

透磁場坐標和透磁率坐標

合格判定

按標準進行判定

 


 4、軟件界面






 5、測試曲線.